日本filmetrics板厚測量系統(tǒng)F3-sX
可以高精度測量硅基板和玻璃基板的厚度。
通過安裝初開發(fā)的具有高波長分辨率的光譜儀，可以測量高達(dá) 3 mm 的厚膜。
憑借 10 μm 的小光斑直徑，可以測量粗糙和不均勻的薄膜。
通過添加自動(dòng)載物臺(tái)，可以輕松測量面內(nèi)分布。

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